激发光源是原子荧光光谱仪的主要组成部分。在一定条件下，荧光强度与激发光源的发射强度成正比。因此，理想的光源必须具备以下条件：首先，要发射强度高，且无自吸。其次，要稳定性好，噪声小。第三，要发射的谱线窄且纯度高。第四，要价格便宜且有足够长的使用寿命。第五，要操作简便，不需要复杂的电源。最后，它必须适用于各种元素分析，能够为各种元素制造同类型的灯。下面是原子荧光光谱仪的激发光源种类及工作原理的介绍。

一、空心阴极灯

空心阴极灯是目前原子荧光光谱仪中应用最广泛的一种辐射光源。它是一种特殊的低压辉光放电灯，依靠阳极和空心阴极之间的放电激发。阳极和阴极之间的放电可以引起阴极溅射而产生原子蒸气，同时也提供产生原子光谱的激发能量。整个光谱产生过程分为两步：溅射产生原子蒸气和激发蒸气中的原子。空心阴极灯的优点是结构简单，使用方便。缺点是上述两种过程不能分开控制。改变如放电电流等一些放电参数，将同时对两种过程产生影响。如果增大供电电流，虽然能增加特征共振光谱的输出，但也会导致了特征共振光辐射的自吸收增大和共振变宽，输出的谱线轮廓变坏。反之，如果减小供电电流，虽然谱线自吸收和共振变宽减少，但也会减小特征共振辐射的输出，特征共振光辐射的谱线轮廓得到改善。

二、高强度空心阴极灯

为了提高空心阴极灯的发光强度并改善其受限制的缺点，研制出了高强度空心阴极灯。该灯结构基于普通空心阴极灯，但增加了一对辅助电极。这种灯通过两个独立的放电：空心阴极放电和低压大电流电弧放电（二次放电），使未被激发的原子蒸气与辅助电极放电所形成的等离子区的粒子相互碰撞而被激发，大大提高了空心阴极灯的总辐射强度。

三、微波无极放电灯

早期的原子荧光光谱仪器研究中，使用广泛的光源是无极放电灯。该灯辐射强度更高、自吸收小、寿命长，尤其适用于在短波长区域内有共振线的易挥发元素分析。但高强度空心阴极灯在对这些元素进行分析时，必须在很低的电流下工作，否则灯的寿命太短，而低电流发射的光谱强度又太弱，无法满足实际测量的要求。微波无极放电灯通过将无极放电灯置入微波谐振腔内，在微波电场的作用下，将灯中充填气体加热，形成高温等离子区，然后加热含有待测元素的原子或其化合物（卤化物）进入等离子区。这些填料在高温等离子区中被原子化并被激发而发射出含有待测元素的特征原子谱线的光辐射。尽管微波无极放电灯曾经被广泛应用于原子荧光光谱分析中，但该灯存在许多缺点。它的稳定性与操作人员的水平密切相关，无极放电灯在谐振腔内的位置只能凭经验调节，不易掌握；微波辐射对操作人员身体可能造成损害等。随着新型光源的开发应用，这种灯已不再在原子荧光的商用仪器中使用。

四、激光光源

激光光源在原子荧光光谱分析中有着显著的优点。它具有单色性好、相干性强、方向集中和功率密度高等特点，特别是各种倍频技术的出现，使得激光输出波长迅速向紫外区延伸。激光作为原子荧光光源的最主要优点在于，可实现饱和激发，从而扩大仪器的动态测量范围，降低检出限，并提高仪器的信噪比。此外，激光光源配合适当的时间门电路，避免了杂散光对测定的影响，提高了仪器的精度和准确度。

然而，激发光源也有其缺陷。它不能多元素同时测量，削弱了原子荧光可以进行多元素同测的能力。此外，激光光源结构复杂、价格昂贵，因此到目前为止还没有商品仪器。但随着激光技术的快速发展，我们有望解决这些问题。

连续光源是另一种理想的光源，具有稳定强劲的光发射。它不仅可以应用于多道仪器的多元素同时测定，还可以精密测量激发线邻近的散射光。与线光源相比，使用连续光源可以得到更为平顶的工作曲线，能避免识别假信号和荧光信号所带来的困扰。然而，连续光源需要使用单色器进行分离谱线，且检出限较差。目前，线光源在实际应用中仍领先于连续光源，但随着现代连续光源强度的提高，这种趋势可能会发生逆转。