RoHS检测仪是一种扫描仪器。仪器运行时，许多部件都在运动，如测角仪、晶体转换器、准直仪等。经常动作的部分容易出问题，控制和检测各部分动作的电子线路板也可能出问题。RoHS测试仪配有故障诊断软件，分布在仪器各个部位的传感器将仪器的状态信号传输给计算机，以便仪器操作人员和维修工程师判断仪器是否正常，找出故障位置。而测量过程中的一些问题，诊断软件是发现不了的，诊断软件只是提示有故障。要查找故障原因，要求维修人员熟悉仪器的结构，并有一定的维修经验。本文介绍了RoHS检测仪的光谱室和样品室的真空度达不到规定值的故障分析和解决方法！有兴趣的可以了解一下！

1、故障分析

x射线荧光光谱通常工作在真空光路中，但光谱室和样品室有很多部件与外界相连，有很多部件可能会漏气。检查真空故障时，将可能出现的问题分为真空泵、样品室、光谱室三个部分，逐一检查这三个部分，缩小范围。

2、解决方法

拆下真空泵与光谱室和样品室之间的接口，用橡皮塞塞住，然后抽真空。如果能在几秒钟内达到规定值，则可以排除真空泵故障的可能性。如果规定值可以抽很长时间，可能是真空泵效率降低。这种情况一般发生在经常分析压片样品和油品的仪器中，粉末或油被吸入真空泵油中，改变了油的粘度。此时，真空泵油需要更换。

样品室中常见的漏气位置是样品旋转装置上的密封圈。测量样品时，样品通常以0.5转/分的速度旋转。仪器运行几年后，样品旋转处的密封圈磨损，密封效果变差。

光谱室常见的漏风部分是气流计数器，安装在光谱室内，有与外界相连的进气管和出气管。气流计数器的窗膜很薄，窗膜漏气会影响谱室的真空度。方法:用软管连接进气管和出气管，将气流计数器与外界隔离，然后抽真空。

检查真空故障。在拆卸和安装过程中，要小心。不要让烟灰或头发落在密封圈上，以免产生新的漏气点。安装时，可以在密封部位涂一点真空润滑脂。

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