光谱分析的仪器设备主要由光源、分光系统(光谱仪）和观测系统三部分组成。简单来说就是将样品引入激发光源，原子化、激发、电离，辐射出特征光谱。然后，光辐射被分光系统分散。最后，形成的光谱的强度由相位板测量或转换成电信号。下面来介绍了ICP光谱仪的分类！

ICP光谱仪可分为几大类，即摄谱仪、多通道光电直读光度计和顺序扫描单色仪。近年来，最流行的ICP光谱仪是带有固态探测器的全谱直读光谱仪。

1、摄谱型等离子发射光谱仪

相位板记录的商用ICP光谱仪不多，但国内仍在使用这些仪器。还有很多自己组装的ICP光谱仪。

2、多通道光电直读等离子体发射光谱仪

这种光谱仪为固定狭缝多通道式，即根据待测元素谱线出现的位置，在光谱仪的焦平面上安装多个固定的出射狭缝和相应的探测器(如光电倍增管)，同时接收来自样品的多种元素的分析信号，多通道仪器的通道数可达60个以上。多道ICP光谱仪具有较高的分析效率和精度，是一种快速同时测定多种元素的方法，适用于大批量样品分析。缺点是通道数量有限且固定，灵活性差。很难灵活选择待测元素，也很难根据样品的基体和待测元素的含量选择合适的干扰较少或灵敏度不同的谱线。

3、顺序扫描等离子体发射光谱仪

单通道扫描仪相当于出射狭缝和电子倍增管在光谱仪焦平面上的移动扫描或光栅旋转扫描，依次探测不同波长的谱线。该方法具有很大的灵活性，可以根据样品特性和元素含量灵活选择谱线进行顺序多元素分析。其缺点是待测元素多，分析速度慢，消耗样品溶液，精密度差。

4、多通道和顺序扫描单色仪组合的等离子体发射光谱仪。

鉴于以上两类仪器的优缺点，可以在多道仪器上增加单色仪，在一定程度上弥补各自的缺陷。

5、全谱直读等离子体发射光谱仪

全谱直读采用了现代微电子学、光电子学和计算机领域的最新成果，引入了阶梯光栅二维色散与固态探测器相结合的新型仪器，实现了革命性飞跃。由几十万到几百万像素(CCD或CID)组成的探测器实现了高信息量的二维全光谱探测，融合了经典摄谱仪、多通道测光仪和单通道扫描光谱仪的优点。它可以采集全光谱照片，同时记录样品中所有元素的原子发射光谱信息，获得样品的“指纹”信息，从而重新研究某些元素的复杂情况或探索未来尚未分析的元素。您还可以灵活地选择谱线和检查光谱图。在一次读数中，可以同时准确读出一种元素的多条谱线。可以通过不同谱线的测量结果来判断是否存在谱线干扰，灵活选择最佳谱线。此外，不同强度的谱线可以用来分析样品中不同含量的元素，可以实现更宽的线性动态范围。背景和干扰校正方便，适用于不同类型的样品；利用谱线相减，直接比较样品之间的差异，找出未分析的元素。该方法测量精度高，分析速度快，效率高，适合大批量样品分析；结合方便流动注射分析(FIA)或液相色谱测量瞬态信号。